Accueil Imprimer Annuaire Plan du site Crédits Fil RSS du site Twitter LinkedIn Plans d'accès Contacts Annuaire Webmail Intranet outils & logiciels Logo

Accueil > A propos du LPP > Communication > Actualités archivées > 2014 > Prix de la meilleure affiche à l’atelier PESM obtenu par Mickaël Foucher, doctorant au LPP

Prix de la meilleure affiche à l’atelier PESM obtenu par Mickaël Foucher, doctorant au LPP

Toutes les versions de cet article : [English] [français]

Le prix de la meilleure affiche a été décerné à Mickaël Foucher lors de l’atelier PESM (Plasma Etch and Strip for Microelectronics) qui a eu lieu à Grenoble les 12 et 13 Mai. L’affiche, intitulée « Inductively-coupled plasmas of Cl2/O2 : measurements of atoms, ClxOy and electron densities », présentait de très nombreux résultats obtenus au sein de l’équipe Plasmas Froids du LPP.


Ces résultats font partie d’une étude expérimentale complète des plasmas de dichlore, de dioxygène et de leurs mélanges utilisés de manière intensive dans l’industrie de la micro-électronique. Des paramètres importants, tels que les densités et températures de diverses espèces, ont été mesurés en utilisant différents diagnostics dont la spectroscopie laser à deux photons et un nouveau banc de spectroscopie d’absorption ultraviolet ultra-sensible. Ces résultats permettront une meilleure compréhension des mécanismes fondamentaux à l’œuvre dans ces systèmes qui sont complexes et de grande importance pour l’industrie.


transparent
CNRS Ecole Polytechnique Sorbonne Université Université Paris-Saclay Observatoire de Paris
transparent
©2009-2025 Laboratoire de Physique des Plasmas (LPP)

Mentions légales
Exploitant du site : Laboratoire de Physique des Plasmas, Ecole Polytechnique route de Saclay F-91128 PALAISEAU CEDEX
Hébergeur : Laboratoire de Physique des Plasmas, Ecole Polytechnique route de Saclay F-91128 PALAISEAU CEDEX
Directeur de la publication : Anne Bourdon (Directrice)

Accessibilité