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Prix de la meilleure affiche à l’atelier PESM obtenu par Mickaël Foucher, doctorant au LPP

Le prix de la meilleure affiche a été décerné à Mickaël Foucher lors de l’atelier PESM (Plasma Etch and Strip for Microelectronics) qui a eu lieu à Grenoble les 12 et 13 Mai. L’affiche, intitulée « Inductively-coupled plasmas of Cl2/O2 : measurements of atoms, ClxOy and electron densities », présentait de très nombreux résultats obtenus au sein de l’équipe Plasmas Froids du LPP.


Ces résultats font partie d’une étude expérimentale complète des plasmas de dichlore, de dioxygène et de leurs mélanges utilisés de manière intensive dans l’industrie de la micro-électronique. Des paramètres importants, tels que les densités et températures de diverses espèces, ont été mesurés en utilisant différents diagnostics dont la spectroscopie laser à deux photons et un nouveau banc de spectroscopie d’absorption ultraviolet ultra-sensible. Ces résultats permettront une meilleure compréhension des mécanismes fondamentaux à l’œuvre dans ces systèmes qui sont complexes et de grande importance pour l’industrie.


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