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Le jeudi 5 février à 11h

Mark J. Kushner
Director, Mich. Inst. for Plasma Sci. & Engr. (MIPSE)
University of Michigan

Pulsed Plasmas for Control of Reactive Fluxes in Microelectronics Fabrications (and Maybe for Plasma Medicine)

Lieu : salle de l’ex LIX (aile 0)


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Tutelles : CNRS Ecole Polytechnique Sorbonne Université Université Paris Sud Observatoire de Paris Convention : CEA
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